如果將氦(He)***(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化***(KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。目元激光混合氣體的方案組成比例：CO:4%，CO2：8%，He:28%，N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到輸出功率，并且切割鋼板厚度達到25mm，還可以更好的保證工件質量。

重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質，如ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準分子不會天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時形成的。激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。20W機型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中，而的是514.5及488 nm。***離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產品中，有將***氣與***氣混合的機型。

如果將氦(He)***(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化***(KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，激光混合氣定制，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。 激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產生激光的氣體，對氣體質量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質量要求特別高。

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