






這種級(jí)別的控制能實(shí)現(xiàn)高重現(xiàn)性的鍍膜批次和的層厚度誤差,常平塑料漸變加工,從而確保鍍膜性能與設(shè)計(jì)的光譜和相位參數(shù)一致。5 IBS鍍膜比使用其他鍍膜技術(shù)的鍍膜要光滑得多,塑料漸變加工供應(yīng)商,這使得 IBS 成為一種能夠制造出反射率超過(guò)99.99% 的“超級(jí)鏡面”的鍍膜技術(shù),塑料漸變加工零售,而且鍍膜的粗糙度也比的基片低。IBS 鍍膜的高密度使其堅(jiān)固耐用,提高了其耐化學(xué)性,延長(zhǎng)了鍍膜的使用壽命,使其能夠承受更惡劣的環(huán)境。

等離子濺射在蒸發(fā)沉積和離子束濺射之間實(shí)現(xiàn)了價(jià)格和性能的折中。離子束濺射 (IBS)在離子束濺射 (IBS) 過(guò)程中,利用高能電場(chǎng)加速離子束(圖 5)。這一加速度會(huì)給離子提供顯著的動(dòng)能 (~10-100 eV)。當(dāng)源材料受到?jīng)_擊時(shí),源材料離子從目標(biāo)“濺射”,并在與光學(xué)表面接觸后形成致密膜。5 使用 IBS 鍍膜而不是蒸發(fā)沉積的一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是能夠更地監(jiān)測(cè)和控制單個(gè)鍍膜的生長(zhǎng)速度、能量輸入和氧化水平。
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