1現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)對空氣濕度的重視程度日益提高，要求也越來越高，對于電子芯片廠房，如果濕度不能滿足要求，將會靜電，使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損，嚴重影響企業(yè)生產(chǎn)。
本工程為集成電路產(chǎn)品的生產(chǎn)項目，潔凈區(qū)平面為島型布置，操作區(qū)潔凈度為4，5級， 由于生產(chǎn)工藝的要求，對溫、濕度的要求很高：溫度21℃ ±0．5℃ ，相對濕度40％ ± 3％ ；設(shè)備區(qū)潔凈度為5．5級，無特定溫、濕度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)采用風(fēng)機過濾單元(FFU) 干表冷器 新風(fēng)處理機組的型式。操作區(qū)為送風(fēng)區(qū)，設(shè)備區(qū)為回風(fēng)區(qū)。冷源分為兩種：低溫冷凍水(0℃～5 oC)， 中溫冷凍水(12℃～16℃)；熱源為38℃～32℃ 的熱水， 由熱水鍋爐和帶熱回收的冷凍機組提供。潔凈區(qū)的溫度由干表冷器控制，相對濕度由新風(fēng)處理機組控制。但是它的霧化粒子的顆粒大，均勻性差，容易浪費水源，不是特別適合于室內(nèi)加濕。
2 加濕方案選擇
由于熱源使用熱水，沒有蒸汽系統(tǒng)， 出于減少系統(tǒng)種類的考慮，首先選擇非蒸氣的加濕方式。淋水室加濕為等焓加濕，在加濕過程中不僅可以清潔新風(fēng)，部分去除新風(fēng)中的灰塵；還可以使新風(fēng)中的一部分化學(xué)物質(zhì)溶解于水， 降低新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)的含量。淋水室全年運行，冬季用于加濕、清潔新風(fēng)，夏季則起到清潔新風(fēng)的作用。淋水室的缺點是占用空間大，在新風(fēng)處理機組中長度為1．9 m；與空氣直接接觸，易受污染變臟，需要定期排污。新風(fēng)處理機組由初效過濾器、中效過濾器、一級加熱盤管、一級冷卻盤管(使用12℃～16℃ 中溫冷凍水)、淋水室、二級冷卻盤管(使用0℃～5℃低溫溫冷凍水)、送風(fēng)機、二級加熱盤管、過濾器組成。新風(fēng)處理機組的組段方式見圖1。飽和干蒸汽加濕為等溫加濕，直接將空氣加入到空氣中，加濕迅速、均勻、穩(wěn)定、不帶水滴、不帶***、設(shè)備簡單、安裝靈便、運行費用低，選擇適當(dāng)?shù)目刂苾x表，能夠滿足工藝對室內(nèi)相對濕度波動范圍小于±3％的要求。
加濕方案采用高壓噴霧加濕器 電熱加濕器的方式。高壓噴霧加濕器用于粗調(diào)節(jié)；電熱加濕器用于精調(diào)節(jié)，選擇適當(dāng)?shù)目刂苾x表，其精度調(diào)節(jié)能夠滿足相對濕度± 3％ 的要求。高壓噴霧加濕是利用壓縮空氣與水混合噴霧將水破碎成微小水滴，對空間進行直接加濕。優(yōu)點：微霧效果，加濕量大，安裝簡單方便，免清洗，使用壽命長，設(shè)備價格低；缺點：需配壓縮空氣源，加濕精度低。電熱加濕是用發(fā)熱體將水加熱至沸點，產(chǎn)生水蒸汽并釋放到空氣中進行加濕。優(yōu)點：加濕均勻、穩(wěn)定、不帶水滴、不帶***，加濕精度高；缺點：易結(jié)垢，耗電量大，運行費用高。我們都知道，高壓微霧加濕器應(yīng)用行業(yè)廣泛，在印刷、紡織、、畜牧、農(nóng)業(yè)、景觀等行業(yè)都有廣泛的應(yīng)用，關(guān)于高壓微霧加濕器的工作原理我們都已經(jīng)有所了解，現(xiàn)在就來看一下使用高壓微霧加濕器的注意事項吧。新風(fēng)和醋栗機組由初效過濾器、中效過濾器、一級加熱盤管、一級冷卻盤管、高壓噴霧加濕器、電熱加濕器、二級冷卻盤管、送風(fēng)機、二級加熱盤管、過濾器組成、新風(fēng)處理機組的阻段方式見圖3.
冬季加濕過程：新風(fēng)先由一級加熱器從點W加熱至點S，再通過高壓噴霧加濕器焓加濕至點P，然后由電熱式加濕器加濕。設(shè)定干球溫度Tdb=15度，是因為對于蒸汽加濕，能夠正常加濕的溫度為Tdb=14度左右.
