進(jìn)行材料斷口的分析。掃描電子顯微鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大，圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個(gè)特點(diǎn)對(duì)使用者很有價(jià)值。掃描電子顯微鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。



高分辨率的圖像要求樣品盡量的薄，電子束的能量盡量的高。因此可以認(rèn)為電子不會(huì)被樣品吸收，樣品也就無(wú)法改變電子波的振幅。由于在這種情況下樣品僅僅對(duì)波的相位造成影響，這樣的樣品被稱作純相位物體。純相位物體對(duì)波相位的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)對(duì)波振幅的影響，因此需要復(fù)雜的分析來(lái)得到觀察到的圖像強(qiáng)度。例如，為了增加圖像的對(duì)比度，透射電鏡三維重構(gòu)技術(shù)服務(wù)，TEM需要稍稍離開聚焦位置一點(diǎn)。這是由于如果樣品不是一個(gè)相位物體，和TEM的對(duì)比度傳輸函數(shù)卷積以后將會(huì)降低圖像的對(duì)比度。



透射電子顯微鏡(Tran***ission Electron Microscope，簡(jiǎn)稱TEM)，可以看到在光學(xué)顯微鏡下無(wú)法看清的小于0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu)，就必須選擇波長(zhǎng)更短的光源，以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡，電子束的波長(zhǎng)要比可見光和紫外光短得多，并且電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比，也就是說(shuō)電壓越高波長(zhǎng)越短。TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。



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