1. 機臺簡介 本規(guī)格書為關于鼎朝科技鐳富自動化出產且針對TFT-LCD 面板設計之鐳射修補系統(tǒng)。本設備搭載HOYA 鐳射系統(tǒng)(含Laser Head、Laser Controller)、精密光學影像系統(tǒng)(鐳射加工/觀測專用顯微鏡、鐳射加工專用光學物鏡、影像觀測物鏡)、X/Y/Z 馬達驅動系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣壓制震系統(tǒng)(可選配)、精密鋼構底座及設備安全外罩(可選配)等所組成。本設備可針對工件特定材質層進行短路缺陷修補處理。加工件為采用人工模式取放。 2. 面版尺寸 CELL SIZE:37"(1240mm x 740mm) 入料方式:長邊入料 ※參考規(guī)格,依客戶提出產品尺寸確認 3. 機臺規(guī)格 3-1 X/Y/Z軸驅動系統(tǒng) 項目 說明 X、Y軸有效行程 1250mm x 900mm X、Y軸驅動形式 伺服馬達系統(tǒng)搭配精密螺桿 X/Y軸***小解析度 1um/pulse 重現性 ≦±5 um Z軸***大行程 150mm Z軸驅動形式 伺服馬達系統(tǒng)搭配精密螺桿 Z軸***小解析度 0.1um/pulse (依實際設計配置為準) 3-2 鐳射發(fā)振器 項目 說明 鐳射種類 ND:YAG Laser 鐳射波長 1064nm 鐳射功率(***大輸出) 1064nm:5mJ/pulse ***大Peak Power 1064nm:0.7mW 1064波幅 8-6nsec 發(fā)振頻率 1-20Hz 冷卻方法 水冷式 輸出能量控制 512 steps for 0-100%※Hi/Low switch-able Flash Lamp Life time 1年或大于1000000shots 鐳射發(fā)振器保固期 1年 介面 RS-232 (依實際鐳射配置規(guī)格為準) 3-3 Laser Slit 項目 說明 物鏡倍率 加工尺寸 修補尺寸 NIR 50x 物鏡 min: 3um x3um NIR 20x 物鏡 max: 120um x 120um 3-4 光學影像系統(tǒng) 項目 說明 顯微鏡 觀測/鐳射加工專用型 CCD 1/2”Color CCD 落射光源 高亮度鹵素光源系統(tǒng)(100W) 透射光源 高亮度鹵素光源系統(tǒng)(150W) Guide Light 高亮度鹵素光源系統(tǒng)(100W) 物鏡切換系統(tǒng) 4孔/電動切換式(線性) 3-5 精密物鏡組 項目 說明 M Plan APO 5 x 觀察 M Plan APO 10 x 觀察 M Plan NIR 20 x 觀察/鐳射加工 M Plan NIR 50 x 觀察/鐳射加工 3-6 自動對焦系統(tǒng) 項目 說明 對焦類型 手動式對焦 3-7 加工載臺 項目 說明 主要功能 工件承載使用 材質 精密研磨光學玻璃平臺(Glass Stage) 尺寸 1240mm x 740mm 底座 精密鋼構底座 3-8 避震系統(tǒng) 項目 說明 避震形式 氣壓式避震 自然頻率(垂直/水平) 2~2.3 Hz 廠家供氣規(guī)格 4~6 kg/㎠ (Compressed or Nitrogen Gas） (設備需求地板防震等級：B 等級) ATS LR2200M using in SEMI standard vibration spec V.C.B. as below. Should meet the following condition even when operating surrounding equipments 3-9 PC規(guī)格 項目 說明 PC 業(yè)級電腦(IPC) CPU 2.4G Hz OS Windows System HD 500G *1 RAM 2G Language 繁中 Monitor 19’’ Key Board ATS-STANDARD Mouse ATS-STANDARD 3-10 其它規(guī)格 項目 說明 背光箱 尋找亮點缺陷之光源燈箱 4. 操作模式 4-1 軟體功能 (1) 鐳射巨集模式操作功能 提供 Point / Line / Block 三種雷射加工模式，將Recipe 中的鐳射參數，依使用者 在畫面中教導預修補的路徑與型式，教導完后作一次性的快速修補 (2) 鐳射手動操作擊發(fā)功能 (3) 快速熒幕畫面滑鼠點擊移動 (4) Recipe 存檔功能 提供有關鐳射參數/基板參數 Recipe 存檔功能 (5) 滑鼠拉框開啟Slit 功能 利用滑鼠在熒幕上做拉框的動作直接開啟Laser 對應的Slit 大小 (6) 使用者登入/登出 (權限管理) (7) 上下光源手動調整 (8) 上下光源配合各倍率設定自動調整 (9) 基本量測工具 (10) 圖片Image 存檔功能 (11) 鏡頭切換自動校正功能 (12) 影像參數設定功能 a. 明亮度設定 b. 對比度設定 c. 飽和度設定 d. 對比度設定 (13)操作語系選擇 a. 繁中 b. 英 4-2 項目 說明 手動操作模式 操作人員可利用滑鼠、透過系統(tǒng)畫面確認 5. 公用設備 5-1 電源 項目 說明 組數 1 組 電源 3 phase /AC 220 V ± 10%, 30A 電源接頭 M6 端子臺 接地線 JIS 等級1, 8mmsq 以上 5-2 Vacuum 項目 說明 組數 1 組 氣壓 -500mm Hg 流量 100L /Min 接頭 8mm Swagelok 5-3 CDA 項目 說明 組數 2 組 氣壓 5 Kg / cm2 流量 100L /Min 接頭 8mm Swagelok 6. 外觀 項目 說明 尺寸 Within 2320mm(W) x 2160mm(D) x 2000mm(H) 重量 Within 1.2T (依據實際設計尺吋為準) 7. 安全外罩 1) 外框架顏色 : 標準色 2) 外罩顏色 : 標準色 8. 使用環(huán)境 項目 說明 Temperature 20-26 C Humidity 30-70% (No dew drop is allowed) Clean level Class 10,000 9. 保固期限 驗收后提供18個月保固服務(不包含消耗備品)。 <機臺保固范圍不包含以下例外狀況所造成之損壞或異常> ・ 因疏失的人為操作而導致故障。 ・ 因天然災害而導致故障。 ・ 因客戶之改造、解體、移設或修理而導致故障。